德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL

應用領域：

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測量

計量

產品參數(shù)：

型號：P-541.ZSL

主動軸：Z

集成傳感器：應變片傳感器

-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米

θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：–毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：-毫弧度

Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：–微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：2.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差：0.2%

Z向上的重復精度：<10納米

θX、θY向上的重復精度：–微弧度

θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度

產品參數(shù)：

型號：P-541.TSL

主動軸：Z,θX,θY

集成傳感器：應變片傳感器

-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米

θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：±0.6毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±0.4毫弧度

Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.02微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：2.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.25微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差：0.2%

Z向上的重復精度：<10納米

θX、θY向上的重復精度：0.05微弧度

θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL